Îáðàáîòêà è àíàëèç èçîáðàæåíèé äëÿ ñèñòåì òåõíè÷åñêîãî çðåíèÿ â ìèêðîýëåêòðîííîé ïðîìûøëåííîñòè

Çàäà÷è îáðàáîòêè:

ïîäãîòîâêà äàííûõ è êîíòðîëü êà÷åñòâà âûïîëíåíèÿ òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ  è ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ÑÁÈÑ.

Íàó÷íî-òåõíè÷åñêèé çàäåë.

Ðàçðàáîòàí ðÿä ïðîãðàììíûõ êîìïëåêñîâ (ÏÊ), êîòîðûå ðàáîòàþò ñîâìåñòíî ñ óñòàíîâêàìè àâòîìàòè÷åñêîãî êîíòðîëÿ äåôåêòíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí (ÎÀÎ «ÊÁÒÝÌ-ÎÌλ ÃÍÏÎ «Ïëàíàð» http://kb-omo.by/,  www.planar.by).

ÏÊ ïîäãîòîâêè òîïîëîãè÷åñêèõ äàííûõ îáåñïå÷èâàåò ïðåîáðàçîâàíèå ôàéëîâ èç ôîðìàòîâ ÑÀÏÐ â ôîðìàò ñïåöèàëèçèðîâàííîãî òåõíîëîãè÷åñêîãî îáîðóäîâàíèÿ ïðîèçâîäñòâà ÑÁÈÑ: ãåíåðàòîðîâ èçîáðàæåíèé è óñòàíîâîê àâòîìàòè÷åñêîãî êîíòðîëÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí è ôîòîøàáëîíîâ. Ïîääåðæèâàåò:

• ôîðìàòû MEBES, CIF, DXF, ZBA-20 è Gerber, GDSII è ôîðìàò óñòàíîâêè êîíòðîëÿ äåôåêòíîñòè ôîòîøàáëîíîâ ÎÀÎ «ÊÁÒÝÌ-ÎÌλ ÃÍÏÎ «Ïëàíàð» http://kb-omo.by/,  www.planar.by;
• ñèíòàêñè÷åñêèé àíàëèç òîïîëîãè÷åñêèõ äàííûõ óñòàíîâêè;
• ðàçðåçàíèå êîíòóðîâ íà ïðèìèòèâû;
• ìàñøòàáèðîâàíèå ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè;

ÏÊ êîíòðîëÿ êà÷åñòâà âûïîëíåíèÿ òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé ðåàëèçóåò ìåòîäû êîíòðîëÿ:

• ñðàâíåíèå ñ ïðîåêòíûìè äàííûìè (die-to-database èëè die-to-die);
• ñðàâíåíèå èçîáðàæåíèé â ïðîõîäÿùåì è îòðàæåííîì ñâåòå;
• ïðåäúÿâëåíèå äåôåêòîâ îïåðàòîðó â ïðîõîäÿùåì è îòðàæåííîì ñâåòå íà ýêðàíå ìîíèòîðà, âîçìîæíîñòü êëàññèôèêàöèè äåôåêòîâ.

ÏÊ ïîäãîòîâêè äàííûõ äëÿ îäíîêàíàëüíûõ ãåíåðàòîðîâ èçîáðàæåíèé øèðîêîãî ïðèìåíåíèÿ âûïîëíÿåò ïîêðûòèå ïðîèçâîëüíûõ ôèãóð ìèíèìàëüíûì ÷èñëîì ïðÿìîóãîëüíèêîâ ñ ó÷åòîì òåõíîëîãè÷åñêèõ îãðàíè÷åíèé, ôîðìèðóåò ïðîãðàììó äëÿ ãåíåðàòîðà.

ÏÊ ïîäãîòîâêè âõîäíûõ äàííûõ äëÿ ëàçåðíîãî ãåíåðàòîðà èçîáðàæåíèé øèðîêîãî ïðèìåíåíèÿ ôîðìèðóåò èçîáðàæåíèå ïî ïðèíöèïó ìèêðîôîòîíàáîðà.

Ãåíåðàòîð ïðåäíàçíà÷åí äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ìåòàëëèçèðîâàííûõ ôîòîøàáëîíîâ ïðè ïðîèçâîäñòâå èíòåãðàëüíûõ ñõåì, ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ, ãèáðèäíûõ ñõåì, ôîòîýëåêòðè÷åñêèõ ïðåîáðàçîâàòåëåé, ÆÊ-èíäèêàòîðîâ, ïðåöèçèîííûõ ïå÷àòíûõ ïëàò, ñïåöèàëüíûõ èçìåðèòåëüíûõ è òåñòîâûõ øàáëîíîâ êàê â ïðîèçâîäñòâåííûõ, òàê è â íàó÷íî-èññëåäîâàòåëüñêèõ è ó÷åáíûõ öåëÿõ.

ÏÊ ìîäåëèðîâàíèÿ èçîáðàæåíèé äëÿ ôîòîëèòîãðàôèè  ïðåäíàçíà÷åí äëÿ îïðåäåëåíèÿ âîçìîæíûõ äåôåêòîâ ïðè ïðîèçâîäñòâå ÑÁÈÑ, â òîì ÷èñëå ñêðûòûõ. Ìîäåëèðîâàíèå ïðîöåññà ëèòîãðàôèè ïðåäñòàâëÿåòñÿ äâóìÿ ýòàïàìè:

1) ìàñêè ïðîåöèðóþòñÿ â ôîòîðåçèñò â âèäå âîçäóøíîãî èçîáðàæåíèÿ*;

2) òðåõìåðíûå ôîðìû ôîòîðåçèñòà ðàçðàáàòûâàþòñÿ è ñòðóêòóðèðóþòñÿ íà îñíîâå èíòåíñèâíîñòè èçîáðàæåíèÿ.