Ïðîãðàììíûå ñðåäñòâà êëàññèôèêàöèè äåôåêòîâ òîïîëîãèè, îáíàðóæèâàåìûõ â ðåçóëüòàòå àâòîìàòè÷åñêîãî êîíòðîëÿ òîïîëîãè÷åñêèõ ñëîåâ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí
Ïîèñê ïî ñàéòó
Àâòîðèçàöèÿ
Çà÷åì íóæíà ðåãèñòðàöèÿ?
Ëîãèí:
Ïàðîëü:
Ðåãèñòðàöèÿ
Çàáûëè ñâîé ïàðîëü?
Äëÿ ñîòðóäíèêîâ ÎÈÏÈ
Äëÿ ñîòðóäíèêîâ ÎÈÏÈ ÍÀÍ Áåëàðóñè 
Äëÿ îáðàùåíèé
Äëÿ îáðàùåíèé

ïðîñèì ïðèíÿòü ó÷àñòèå â îïðîñåçàïîëíèòü àíêåòó

Ïðîãðàììíûå ñðåäñòâà êëàññèôèêàöèè äåôåêòîâ òîïîëîãèè, îáíàðóæèâàåìûõ â ðåçóëüòàòå àâòîìàòè÷åñêîãî êîíòðîëÿ òîïîëîãè÷åñêèõ ñëîåâ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí


Ïðîãðàììíûå ñðåäñòâà êëàññèôèêàöèè äåôåêòîâ òîïîëîãèè, îáíàðóæèâàåìûõ â ðåçóëüòàòå àâòîìàòè÷åñêîãî êîíòðîëÿ òîïîëîãè÷åñêèõ ñëîåâ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí

Êðàòêîå îïèñàíèå Ïðîãðàììíûå ñðåäñòâà ïðåäíàçíà÷åíû äëÿ êîíòðîëÿ òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà ïðîèçâîäñòâà èíòåãðàëüíûõ ìèêðîñõåì.

 Ðåñïóáëèêå Áåëàðóñü ÓÏ «ÊÁÒÝÌ-ÎÌλ ÃÍÏÎ ÒÌ «Ïëàíàð» âûïóñêàåò öåëûé ðÿä àâòîìàòè÷åñêèõ êîíòðîëüíûõ è èçìåðèòåëüíûõ êîìïëåêñîâ, èñïîëüçóåìûõ êàê ïðè ðàçðàáîòêå è èññëåäîâàíèÿõ íîâûõ òåõíîëîãèé è ïðèáîðîâ â ìèêðîýëåêòðîíèêå, òàê è â ñåðèéíîì ïðîèçâîäñòâå. Ðåçóëüòàòîì ðàáîòû òàêîãî êîìïëåêñà ÿâëÿåòñÿ íàáîð ëîêàëèçîâàííûõ äåôåêòîâ. Íåîáõîäèìîñòü â îïðåäåëåíèè âèäà äåôåêòà äëÿ ïîñëåäóþùåãî àíàëèçà è íàñòðîéêè òåõïðîöåññà îïðåäåëÿåò àêòóàëüíîñòü ðàçðàáîòêè ïðîãðàììíûõ ñðåäñòâ êëàññèôèêàöèè äåôåêòîâ (ÏÑÊÄ).

ÏÑÊÄ îðèåíòèðîâàíû íà ñîâìåñòíóþ ðàáîòó ñ óñòàíîâêàìè àâòîìàòè÷åñêîãî êîíòðîëÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ìåòîäîì ñðàâíåíèÿ ñîñåäíèõ èçîáðàæåíèé (die-to-die èëè cell-to–cell) íà ñòàäèè ôîðìèðîâàíèÿ òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà â òåõíîëîãè÷åñêèõ ñëîÿõ (ôîòîðåçèñò, ìåòàëë, ïîëèêðåìíèé, íèòðèä, îêèñåë è êðåìíèé). Òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè:

  • Ðàçìåð ìèíèìàëüíîãî îáíàðóæèâàåìîãî äåôåêòà – 0,25 èëè 0,5 ìêì.

  • Ïðîèçâîäèòåëüíîñòü êîíòðîëÿ ïðè ïîðîãå 0,25ìêì – 10 ìì²/ñ.

  • Ïðîèçâîäèòåëüíîñòü êîíòðîëÿ ïðè ïîðîãå 0,5ìêì – 20 ìì²/ñ.

  • Äèàìåòð êîíòðîëèðóåìûõ ïëàñòèí – 100 èëè 150 ìì.

  • Äèñêðåòíîñòü ïåðåìåùåíèÿ êîîðäèíàòíîãî ñòîëà – 5 íì.

Êîíòàêòû (ÔÈÎ, Email, òåëåôîí) Ó÷åíûé ñåêðåòàðü - Ãîðîõ Îëåã Âëàäèìèðîâè÷, òåë. 8 (017) 270 21 76, e-mail: itekan@newman.bas-net.by
Ïîäðîáíîå îïèñàíèå Ïîäðîáíîå îïèñàíèå (rtf)