Программный комплекс обработки и анализа изображений для систем технического зрения в микроэлектронной промышленности(ПК ОАИ) 

			

Аннотация предложения
 ОИПИ НАН Беларуси разработал программный комплекс, который обеспечивает предварительную обработку, анализ и контроль параметров объектов на изображениях топологических слоев интегральных микросхем. Основными его функциями являются: - ввод проектной информации в системы автоматизированного проектирования СБИС; - оперативный сбор объективной информации о качестве выполнения той или иной технологической операции; - получение информации, необходимой для экспресс-анализа изделий предприятий-конкурентов.
Преимущество перед аналогичными средствами анализа и контроля заключается в разработке и применении новых методов цифровой обработки графической информации и оптического контроля топологии современных микроэлектронных изделий. ОИПИ НАН Беларуси ищет промышленных партнеров для применения и дальнейшего развития ПК ОАИ.

Описание предложения
ПК ОАИ осуществляет выполнение следующих основных операций: получение полного изображения слоя топологии из фрагментов(кадров) и обеспечение последующего просмотра в интерактивном режиме всего изображения с возможностью его масштабирования с помощью специализированного редактора, что осуществляется при помощи разработанных программных средств; предварительная обработка изображений, анализ спектральной гистограммы; сегментация и идентификация на изображении по указанию оператора областей определенного вида с возможностью их последующей корректировки, автоматизированная подготовка библиотеки подлежащих идентификации областей, идентификация областей (комбинаций областей) с возможностью последующего просмотра и корректировки, аппроксимация границ выделенных областей прямолинейными отрезками, формирование сценариев обработки.ПК ОАИ работает в диалоговом режиме под управлением операционной системы Windows или LinuxRedHat. 

Тип технологии
 Программное обеспечение

Технические и экономические преимущества
ПК ОАИ предназначен для обработки и анализа изображений топологических слоев СБИС и подготовки к восстановлению топологии, что позволит уменьшить трудоемкость процессов проектирования и изготовления интегральных схем,повысить качество изготовления, увеличить выход годных.
Мировой уровень обеспечивается разработкой и применением новых методов предварительной обработки и анализа изображений участков контроля и повышением производительности и точности оптического контроля топологии СБИС.

Инновационные аспекты предложения
ПК ОАИ позволяет существенно повысить производительность и качество контроля современных микроэлектронных изделий в широком спектре проектных норм и технологий. Может использоваться в качестве дополнительного программного средства анализа интегральных схем совместно с установками автоматического контроля полупроводниковых пластин.

Где была представлена технология
Экспериментальный образец ПК ОАИ прошел опытно-промышленную эксплуатацию, находится в стадии освоения в составе оборудования филиала НТЦ «Белмикросистемы»ОАО «ИНТЕГРАЛ»-управляющая компания холдинга «Интеграл». 

Ключевые слова
СБИС, оптический контроль топологии, экспресс-анализ. 

Текущая стадия развития
 Экспериментальный образец
 Находится в эксплуатации/производстве

Статус прав интеллектуальной собственности
 Имеется лицензионное соглашение

Точные сведения о патентованных правах (№ патента, страна, состояние патента)
- 

Область применения технологии
Контроль топологических структур СБИС, экспресс-анализ современных интегральных микросхем.

Классификатор Европейской сети трансфера технологий EEN
 Информационно-коммуникационные технологии и услуги
 Нано- и микротехнологии

Классификатор Европейской сети трансфера технологий IRC
 Электроника, информационные технологии и телекоммуникация
 Промышленное производство, материалы и транспорт

Классификатор Сети американского коммерческого центра трансфера технологий yet2.com
 Электроника
 Промышленное производство

Предпочитаемые регионы
 Европа
 Азия

Практический опыт
Оптический контроль фотошаблонов и полупроводниковых пластин СБИС на ОАО «КБТЭМ-ОМО» и ГЦ «Белмикроанализ» филиала НТЦ «Белмикросистемы» ОАО «ИНТЕГРАЛ»-управляющая компания холдинга «Интеграл». 

Предлагаемые формы сотрудничества
 Договор НИОК(Т)Р
 Лицензирование
 Продажа

Поддержка, предоставляемая при передаче технологии
 Техническая документация